【WLP】最適化をめざす洗浄技術 - 実用化に近づく超臨界流体技術 

【Webラーニングプラザ】 その優れた溶媒特性と環境負荷の低さから注目が集まっている超臨界流体ですが、洗浄への技術適応と実用化はどこまで進んでいるのでしょうか。またその技術は製造プロセスの革新にどんなインパクトを与えるのでしょうか。二酸化炭素超臨界を使った洗浄装置の開発最前線を取材しました。