都産技研　実験動画で学ぶエッチング工程～ウェットエッチング・ドライエッチング～ 

本オンデマンド配信では、ドライエッチング（反応性イオンエッチングやシリコン深堀エッチング）及び、機械加工で使われるウェットエッチング（シリコン異方性エッチング）の解説を交え、実験室レベルの工程を紹介します。