レジスト感光材料・フォトレジスト材料について解説しました。
レジストという言葉は、日本政府が2019年7月の韓国向け輸出管理を強めた件で始めて聞いた方もいると思います。
化学物質の中でも有名な言葉となったレジストですが、この動画では特にフォトレジストについて取り上げます。
動画を作成するに際に下記のリンクを参考にしました。
・Chem-Station
化学者のためのエレクトロニクス講座~フォトレジスト編
www.chem-stati...
・日本ゴム協会誌 総説特集 半導体を支える材料技術
フォトレジスト材料における高分子材料技術
第85巻 第2号(2012)
www.jstage.jst...
・Personal Notebook of Petit Science
微細加工の話
hr-inoue.net/z...
・JSRマイクロ九州株式会社
JSRフォトレジストの製造工程
www.jmq.jsr.co....
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#半導体
21 авг 2024