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【フォトレジスト】光と化学反応する感光材料が半導体を製造するのに必須な理由 

科学技術を見る極微の視野
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レジスト感光材料・フォトレジスト材料について解説しました。
レジストという言葉は、日本政府が2019年7月の韓国向け輸出管理を強めた件で始めて聞いた方もいると思います。
化学物質の中でも有名な言葉となったレジストですが、この動画では特にフォトレジストについて取り上げます。
動画を作成するに際に下記のリンクを参考にしました。
・Chem-Station
化学者のためのエレクトロニクス講座~フォトレジスト編
www.chem-stati...
・日本ゴム協会誌 総説特集 半導体を支える材料技術
フォトレジスト材料における高分子材料技術
第85巻 第2号(2012)
www.jstage.jst...
・Personal Notebook of Petit Science
微細加工の話
hr-inoue.net/z...
・JSRマイクロ九州株式会社
JSRフォトレジストの製造工程
www.jmq.jsr.co....
#レジスト
#フォトレジスト
#フォトリソグラフィー
#感光剤
#半導体

Наука

Опубликовано:

 

21 авг 2024

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Комментарии : 10   
@dwarfnetherland104
@dwarfnetherland104 3 года назад
ポジレジストでパターニングされた場合は、イオン注入、ドライエッチで処理され、ウエット系の薬品処理は殆ど行わないので、耐熱性の方が重要となる。
@erererererasasasasas8274
@erererererasasasasas8274 6 месяцев назад
フォトレジストと言うと、言葉通り画像の方を連想するんですが スマホ・PC等で必要な電力を通す為の凹凸=通路を形成する為に 必要な被膜材?の様なモノですかね。それを光の吸収度合いで その通路を形成しやすくさせるで良いんでしょうか?
@gokubinoshiya
@gokubinoshiya 5 месяцев назад
コメントありがとうございます。 フォトレジストはフォトマスクとセットで理解するべきと思います。 フォトマスクを通過した光のみがフォトレジストとの化学反応に使われるので、光が当たったところと当たらなかったところで微細な通路ができますね。
@erererererasasasasas8274
@erererererasasasasas8274 5 месяцев назад
当たったトコと当たらないトコですか。。 なるほど。疑問が晴れました。有難うございます。 @@gokubinoshiya
@youshi1876
@youshi1876 3 года назад
光の吸収波長を見ているとメタクリル樹脂だけ使用すればいいように思いますが、ノボラックやPHS樹脂のが使われるのは価格的な要因ですか? またノボラック樹脂とPHS樹脂はは同じような吸収領域ですがどうして2種類あるのでしょうか?
@gokubinoshiya
@gokubinoshiya 3 года назад
コメントどうもありがとうございます! どれほどの価格で取引されているのかについては、ごめんなさい、詳しくは把握してないです・・・。 ただ、蓄積されたノウハウ等や半導体の製造設備上の都合もあるかと思います。 ノボラック樹脂とPHS樹脂は確かに同じような吸収領域なのですが、吸光度はPHS樹脂の方が低いですね。 現在でも、UV-i線(365nm)ではノボラック樹脂、KrFレーザー光(248nm)ではPHS樹脂が使われています。
@youshi1876
@youshi1876 3 года назад
@@gokubinoshiya ご説明ありがとうございました。動画わかりやすかったです。
@user-iu9kl8fo9r
@user-iu9kl8fo9r 2 года назад
すみません、とても初歩的な質問なのですが、露光という工程はなぜ必要なのでしょうか?
@gokubinoshiya
@gokubinoshiya 2 года назад
複雑で非常に微細な電子回路(電気が流れる道)をシリコン表面に形成するためですね。 私たちが一般的にイメージする電子回路は、基板に電子部品をつけて導線で繋がったものかもしれません。 ですが、ICチップ等半導体の電子回路は、とても微細なnmスケールの小ささなので人間や機械の手で電子回路を作ることはできません。 そこで露光技術を用います。フォトレジストに光が当たる部分と当たらない部分を精密に区別すると凹凸を形成することができます。 半導体の電子回路はこの凹凸形成を上手く使いこなして、電気が流れる部分や流れない部分を作ります。これが露光工程ですね。
@user-iu9kl8fo9r
@user-iu9kl8fo9r 2 года назад
@@gokubinoshiya ご丁寧にありがとうございます!
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