中国光刻机技术颠覆ASML？深入解读清华大学SSMB-EUV技术 

给大刘点赞。用的比喻（操场跑步，动感音乐）非常形象生动；坦诚承认自己懂得和不懂的。这才是我们需要的科普，用科学精神传递科学。❤

感谢刘大拿的科普。 很实诚， 深入浅出， 让人听得懂。 有遗憾， 有差距， 但有目标， 有希望， 凭中国人的脑力， 现有的能力和臭皮匠顶诸葛亮的精神， 我们需要的也就是时间了👍👍👍。。。

哈工大才是DPP方案，長春走ASML的LPP方案。其實沒啥好選，小孩才選擇，大人是全都要，因為就算是失敗方案也沒關係，因為EUV以下波段，正好有許多物理實驗也需要，就下放成實驗設備光源即可(很多材料晶體需要特殊光源來照相)。

大刘很专业，评论客观。科普价值高。

大刘普及的不错，连我这个小白也听懂了一半意思

大家知道这里油管的Mr Question吗？他是香港人说粤语，但他的视频有中文字幕，他的视频非常细致专业，他刚出了一个视频是讲这件事的，大家去看看就知道了。

謝謝大劉的科普🙏🙏🙏🙏

刚要给老师留言说说SSMB-EUV呢 就更新了 赞😍

感谢大刘的科普

很显然中国在搞光刻机这块，使用了饱和式研发。就是多个团队不同技术路线，同时进行。

大刘的节目比较可靠！科学精神可嘉！点赞。

大刘的科普讲得好，点贊👍

清华大学这个SSMB-EUV是用于物理实验的，和光刻机没有毛关系，结果那些自媒体首先就沸腾起来了

如果这个光源真的能提供高达1000W的稳定EUV光源，那么对反射镜的要求也会相应降低很多，反射镜方面的技术门槛也会相对更容易跨过。可以在解决有无问题后，继续优化反射镜以提高性耗比。 另外，SSMB-EUV光源可以提供在宏观层面连续的EUV激光束（或者说微观层面激发频率极高），相对来说比Cymer的LPP-EUV光源更适合于光刻，后者需要通过电路控制人为产生几十KHz的激发频率。

终于等到你的科普了，之前的其他人的科普，总觉得少了点啥，现在想想，就少了个你，哈哈

清华光刻厂 就是在其它项目没有任何突破时，用来兜底的，这玩意用时时间比较长，但好在能稳定达到，可是时间比较慢，要5～7年才能有实际应用，但是其它路子比这个快，就像长春的EUV LPP那个，年底就能试运行。人多，各种路子都有团队在做，肯定比光刻厂见效快！

😆😆 我等这个等了好几天了，就等着大刘来细分......

小国只能押宝一条技术路线，赢了当然赚的盆满钵满，比如荷兰ASML，输了就一蹶不振，比如日本氢能。大国可以且必须要多条路线同时进行，只要有一条路线成功，对国家整体而言就算成功了。SSMB，DPP，LPP，同时上马才是王道，至于哪个好，就让项目结果来说话。

喜欢大刘这种不夹杂政治情绪的讲解。 现在有些人为了流量真是胡说八道

0:27 那个【环】已经建成，根据怀柔新闻（视频），2023年 3月 14 日试验圆满成功（照片），2023年 6月13 日通过验收（唐教授签字视频）。

光刻机，核心技术:光源，镜片(包括透镜)以及补偿修正.高精度镜片才是大问题

热情很重要，心愿很伟大。但科学还是科学，该快就快，该慢就慢。

片成本决定了是否能大规模商业化

SSMB ，绝对是 未来最有潜力的解决 euv光刻机的技术

东莞的第四代同步辐射光源2010年左右开建的，当时就说北京已经有一个了，这个应该是新的了吧，主要是用来研究物质结构的，制药和细胞研究及其他材料研究是主要项目。

胡杨不死，但是不会有奇迹。这话太扎心了，也不知道消息又飞了这么多天，大刘会不会有新的理解。

13.5还能反射，x射线更难，光刻胶也容易透射打到基材吧？

说的比较有深度 👍

12W不是產量慢的問題吧？而是光束還沒打到晶圓上就被反射鏡吸收了 至於能產生出各種波長的光完全不是優勢，隨便一顆燈泡就能產生從遠紅外到極紫外波長的光 這種連續光譜光源在科研上幾乎是沒價值的，這就是為何雷射(激光)能夠拿諾獎，因為它能只發出單一波長的光 而且同時發出不同波長的光代表大部分能量都被自己不需要的波長給消耗掉了，講白點就是耗能且產出無用的熱 除非那個技術精華在於能夠從單一光源自由選擇想要的波長後讓這個光源只發出這個波長 這樣一來在科研上至少是有價值的 但要當光刻機，還需要解決功率問題。因為EUV很容易就會被反射鏡給吸收掉 此外目前全世界有辦法把反射鏡做到那麼平整的只有德國蔡司一家，中國如果不克服鏡面的問題就需要更大的功率，講白點就是更耗能

直接用电子束做光源就像用电子显微镜取代光学显微镜一样用电刻机取代电磁波光刻机不香吗

有没有可能或是必要用X光的光刻机呢？

SSMB 的价值不是现在取代ASML，而是在未来超越它。

这个技术其实我们也只看到了优势这一面，为什么没有往光刻机光源发展，必然是还有跨不过去的劣势呀。

IAEA的日本核废水报告读完了吗？等着你再做一期节目呢！

DDP 目前功率 數十W LPP目前已經成熟了 最大500W 可能就上限了 但前者也比較不穩定

終於等到大劉講解這個了，比一堆網紅自吹自擂好太多😂

看了幾位博主，只有大劉提到技術起源，其實人名應該也要提一下，會對科學界前輩有尊重度。 中國博主都不提技術起源，搞的中國人都以為自己是原創，等東西做出來，都不敢承認自己不是原創，實在是很不好。 科學不存在彎道，只有一步一腳印。

发明SSMB的其中一个学者是华人，杨振宁的学生，Alex Wu，Chao中文名应该是赵武

还是看大刘的解说比较靠谱

这个突破是一个思路的突破，从另一个角度解决问题，关键是绕过众多技术专利壁垒。其实很多工艺和技术，并不是没办法突破，而是专利拦路虎。这就让我想起明基的一台屏幕灯，售价近千元，别的竞品就是没他效果好。是技术上无法仿制吗？不是因为明基光路上申请了专利，必须绕着走。。。。。清华这项研究成果，短期内是无法解决国内芯片问题，但是未来一片光明。

如果一次发动照射是一台EUV光刻机的一个月产量，芯片单价成本就可能白菜价。

最后才讲到了重点，能产生13.5纳米以下的光源，至于小型化和成本，那是另一码事

大劉老師最好能講一下：Dpp、HEPS、SSMP-EUV研究到現在已經達到什麼水準---多少nm? 只講研究方向，不講已達到什麼程度，真吊口味！😊

主要是高NA物镜

难道非得要可见光吗？据我所知，伽马射线和X射线的波长比极紫光的波长还短，难道就不存在在伽马射线的照射下分解的涂料？

也有说长光所现在的是LPP光源

大刘这个理解。光就是波态的😂😂

我虽然也不太明了其中细节，但我相信明年之内应该可以商业化了。因为有理论、有技术、还有原型机！所以再做一些调整，再加上一些能量，再短的波长都应该可以制造出来的😊

科普不应该是自己的推断，更不应该潜移默化给自己的观众强加思想钢印！

好的，取关阴阳人脖学家了，感谢您科普

可以用螺旋加速来产生紫外光吗？如果可以的话这样可以不用那么大场地了。

我有一个創新的想法，可以在一个遮擋板上鉆一个小孔，只有3納米大，其他衍射光全部遮蔽。如果可行，拿走不謝！

有没有人能介绍下怎么查Patents(专利）啊？感觉这是了解科技的绝佳方案（中英文都行）

終於有人說人話了，重點是SSMB還在開發階段，會不會成還是一個問號，就如同超導體一樣，研究了超過一百年了，還是沒人研究出來，也沒有重大突破。

那清華要怎麼回避非極紫光的照射色散問題？

应用现有，探索未知 两者并不冲突

台美荷方面會原地踏步等中國超車嗎?

哥，您是哪所名校毕业的高材生？能自报家门吗。

实验上能做到和商业应用差别不小，最近很多人有点人有多大胆，地有多大产的感觉

这种国之重器，必须让美国制裁的机构主导

Nikon 也有EUV 光源技術，但以後的部位不夠到位，就沒法跟ASML在EUV方面竸爭。 所以也不用太興奮，後面的坎還多著呢！

早在2010年，斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生Daniel Ratner就提出了SSMB概念。趙午: 國立清華大學物理系學士(1970)

精采

硅原子直径0.12nm，继续发展的空间已经很小了。

大劉，請告訴大家這個想法來自哪裡？這個是哪個清華？

赞👍

我们买菜老百姓比荷兰人自己都关心自己的光刻机， 太暖心了。

既然你不是这方面的专业人才，那你对这个技术的实际运用前景的估测及时间的判断就无太大意义了。对这类话题，最好是只报道，少下结论，因为在这方面你太不专业了。

大刘仍然深受渔民教育之害

ssmb翻译一下就是上什么班

太深奥了，听不太懂，最好有个归纳总结。

👍👍👍💪💪💪

管它什么光源，能用的光源就是好光源。 管它芯片是不是高端的，只要是自已做出来的就可以干翻那些妖魔鬼怪。

怎麼感覺像是雷射光理論？

赞

中国的激光技术不差的，光刻机光源对于中国来说应该不是什么难题。

大刘为什么认为ssmb在可靠性上有优势？我认为系统过于庞大复杂，难以满足芯片加工厂严格的downtime要求。而且由于设备较大，很难做多设备相互备份。简单的说就是一个小bug，所有基于ssmb光源的产线都要停下来等，经济上承受不了。还是需要小型化的EUV光源看来解决实用性的问题。我大胆假设这个ssmb是障眼法，实际的小型化光源正在暗渡陈仓。😋

水平和曾博比还是差太远了。。。。估计清华大学的那个论文你都没看明白。。。你的物理理论知识大概就是国内一本理工科毕业生的水平。。

不懂，但感觉很腻害的样子，应该可以遥遥领先。

👍👍👍

SSMB-EUV用来做光刻机，这在过去就是一个从市场前景考虑毫无价值的方向。需要EUV的，直接找ASML买，不比掏钱扔这来得强？即使是国家也不可能投那么大的力气在这方面使劲。但现在的情况是，美国打压下可能让出了眼前有数千亿美元大小的市场空间，那么高的投入产出比，当然就值得在这方面进行投入了。对中国来说，就好比一只方向是芯片制造技术的投资基金，现在的市场环境，让原来不可能考虑的项目成了可能。当然，风险投资本来就不一定成功，最佳策略难道不是把各种可能的方向都投，只要一个项目成功就有足够的回报！

彎道超車👍

中國和德國合作投入基礎研究，德國出人出知識，中國出錢，研究出成果了，誰得利？？ 中國得了名，參加的學者升評級漲工資 德國得了利，研究用的零組件和設備，都在德國製作，提升了德國的尖端研究製造能力 咦。。。中國想要的，不就是尖端的製造研究能力嗎？？ 怎麼倒過來了。。。。

感觉大刘的节目就是在拿捏既让你能听懂个大概又不让你真明白却觉得很高深很靠谱的边缘。没点专业知识很难鉴别他说的准不准。

刚做了个二阶的实验，就论证79阶不日可达，就好比刚学会走路，就觉得自己能飞。

3D多維度光

因为上面有三个字母EUV😂😂

遙遙領先😂😂😂😂😂

这玩意儿本来就会产生巨量高能极紫外光，属于来都来了不用白不用，毕竟光源频率越高越容易做精确

感觉没什么用。科学是科学，技术是技术。科学首先要尊重客观事实，其次是要说真话。这两样国内都不具备。前几年央视那个科技综艺《加油向未来》，里面一个实验现场翻车了，居然选择正确的选手被判输。主持人宣布实验无效，按剧本来……

還是我們厲害,我們現在在研究雞蛋外殼的量子糾纏......一會包膜,一會沒包膜,到底包膜沒?去問量子態....

光刻机最重要的是光源，就是euv 机紫外光。既然理论已经出来，这就表示可以产出成品。只是时间问题，没毛病

看看mate 60 pro就知道啦！ 不需要人家承认的。 看结果。

這是真正的下一代光刻技術；

👍 👍 👍

连单反相机的镜头都做不了的国家，你能相信它能做好顶级光刻机吗？！

這不是一直不變的道理嗎？當中國自以為能跟上別人的車尾燈時，別人造就已經又不知道進步到甩過中國好機條街了，有哪次不是這樣？

去罗馬不只有-條路！

猜想老共的进度得参考歼十改的过程😂

什么加速器，做光刻机，原来源头是这里。看见能产生极紫外光，就想啊想。 总幻想着弯道超车。哪有那么多弯道。 先搞定DUV光刻机再说吧。 传说中今年能出现的国产28NM光刻机，能出现吗。