〈앵커〉
지구에서 가장 깨끗한 물을 꼽자면, 반도체를 만들 때 쓰는 '초순수'라는 물이 있습니다. 그동안 일본이 반도체용 초순수 기술을 독점해 왔는데, 최근 우리나라도 자체 기술로 첫 생산에 성공했습니다.
그 현장을 장세만 환경전문기자가 다녀왔습니다.
〈기자〉
반도체를 만들 때 실리콘 웨이퍼를 물로 씻는 공정, 미세한 이물질이라도 기판의 전류 흐름을 방해할 수 있기 때문에 극도로 깨끗한 물, 일명 '초순수' 만이 반도체 세정 작업에 쓰입니다.
우리나라 설계 기술로 만들어진 첫 초순수 생산 시설이 내부 설비를 공개했습니다.
자외선 산화와 이온 교환 설비 등 25차례 공정을 거치면 이물질 제로에 가까운 초순수가 완성됩니다.
방금 최종 공정을 거쳐서 나온 초순수 샘플입니다.
사람이 마셔도 별 탈은 없지만, 순수한 H2O에 가장 가까운 물이라서 체내에 흡수되지 않는 특성이 있습니다.
[이명훈/수자원공사 초순수 선임 : 인체에 흡수가 되려면 물속에 일정 수준의 나트륨이나 미네랄이 필요합니다. 초순수에는 이런 유형이 전혀 없기 때문에 그냥 별다른 역할을 하지 못하고 (체외로) 배출이 됩니다.]
그동안 초순수 기술 대부분은 전 세계에서 일본이 독점해 왔습니다.
국내 반도체 기업의 초순수 설비가 고장 나도 일본 기술진이 직접 들어와야 수리가 가능할 만큼 의존도가 높았습니다.
[임강빈/SK실트론 프로 : 외산 (초순수) 설비 딜리버리(배송)가 3개월에서 4,5개월로 증가한 경험이 있습니다. 초순수를 국산화함으로 인해서 웨이퍼를 안정적으로 제조 생산할 수 있을 것으로 판단됩니다.]
일본 의존 문제가 드러난 건 지난 2019년 일본이 반도체 소재 수출 규제에 나서면서부터입니다.
환경부는 수자원 공사와 함께 초순수 기술 국산화에 나섰고, 지난해 말 '공정 설계' 단계의 첫 국산화에 성공했습니다.
정부는 오는 2025년까지 초순수 시설 장비의 70%까지 국산화율을 끌어올릴 방침입니다.
(영상취재 : 박현철, 영상편집 : 이승진)
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24 фев 2023
